http://www.micro.mavt.ethz.ch/education/index.htm
Projekttyp: e-Learning
Stichwörter: Group oriented hands-on practical lab, Acquisition of cutting edge technology, Thin film processes, Super critical point drying, Submicron structures, Silicon Process Technology, Plasma assisted high aspect ratio etching, Picofarad capacitive readout, Microsystem Technology, MEMS, Highly parallel processing, Cleanroom technology

Das "Embedded MEMS Lab" ist ein Projekt zur Entwicklung eines Praktikums in Mikrosystemtechnik (Mikro-elektro-mechanische Systeme). Damit will die Professur für Mikro-und Nanosystemtechnik ein fehlendes Angebot in dieser aufstrebenden Disziplin etablieren.
Unter fachlicher Führung werden fortgeschrittene Studierende aus den Departementen Maschinenbau und Verfahrenstechnik, Physik sowie Informationstechnologie und Elektrotechnik selbständig ein funktionierendes mikromechanisches System samt Ausleseelektronik bauen können. Dies ermöglicht den Studierenden, eigene Erfahrungen in einer wichtigen Zukunftstechnologie zu sammeln, welche hohe Anforderungen an interdisziplinäres und teamorientiertes Denken und Handeln stellt. Dadurch hat das Praktikum einen hohen Motivationswert. Zudem trägt es dazu bei, die ETH Zürich von anderen führenden Universitäten abzuheben.

Meilensteine:
2003/02/01		Project start
2003/06/01		Festlegen des Praktikumszieles
2004/02/01		Erstellte Systeme getestet und geprüft
2004/03/01		Anzahl: Teilnehmer (prozesslimitiert)
2004/07/31		Praktikum 2004
2005/10/31		Project end